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溅射离子泵的类型和基本参数

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-08-19 0:07:33 * 浏览: 88
本标准规定了普通类型溅射离子泵的类型和基本参数。适用于双电位双极和三极溅射离子泵。本标准中使用的术语应符合GB3163的规定。使用的符号和代码应符合JB / T7673-95。 (1)类型1本标准将双电位普通型溅射离子泵分为双极泵和三极泵。双极泵的泵单元由阳极圆筒和阴极板组成,阳极连接到几千伏的正电位,阴极与泵体一起接地。三极泵的泵送单元由阳极,阴极和收集器组成。阳极和集电极与泵体一起接地,阴极连接到几千伏的负电位。 2模型表示方法必须符合JB / T7673-95真空泵模型的制备方法。 (2)基本参数2极溅射离子泵的基本参数应满足表5-7的要求。 2极三极溅射离子泵的基本参数应满足表5-8的要求。