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涡流无油真空泵技术的发展趋势

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-08-25 0:33:57 * 浏览: 15
本文总结了涡流无油真空泵技术的发展和现状,包括涡流技术在各种行业涡流技术应用的发展,从涡流无油真空泵的原理到涡流油的制造技术。 - 免费真空泵及技术指标,从世界各国涡流真空泵的发展到中国涡旋真空泵的发展现状,有系统地介绍了涡流无油真空泵的现状。 1.引言涡旋的概念很长。在20世纪初,世界拥有涡旋技术专利。然而,由于当时技术水平的限制,无法制造涡旋机构,并且忘记了涡旋的概念。 1973年,重新启动了滚动机制,并创建了第一个模型机制,使该技术的实际应用成为可能。涡旋机构的高可靠性,稳定运行,极低噪音,节能等潜力立即引起了冰箱行业的关注和迫切需求。他们受到行业领导者的青睐,并迅速投入工业应用。涡轮压缩机技术和恍惚,日立,科普兰等知名企业的产品引领了世界涡流技术的实际应用浪潮,推动了冰箱,空调等多个行业的技术进步和产品升级。今天,涡流技术从压缩机行业的最初应用扩展到真空泵制造行业,实现了涡流清洁真空技术的实际应用,该技术完全无油,运行更平稳,噪音更低,等等节能。涡流概念和原理的应用产生了一个单级,两级涡流无油真空泵系列,对真空应用设备和环境无污染,并具有优越的抽速,寿命,能耗等指标。普通油泵。 20世纪90年代初,世界上的涡流真空泵被引入市场,涡流技术开始作为一种新的真空采集技术在全球推广和应用。到目前为止,世界上的涡旋真空泵制造商主要集中在美国,日本和欧洲,其代表是日本的Anest1wata,美国的瓦里安和德国的布什。产品包含在0.25L / S-1OL / S系列中,部分具有15L / S或更大泵送能力的产品也处于试验阶段。 2.涡流无油真空泵的特点和应用领域(0-Ifreescrollvacuumpump)洁净真空环境一直是科学家和企业追求的理想真空环境。自创建真空环境以来,人们一直试图通过不同的方式实现清洁真空。如今,清洁真空设备已发展到冷凝泵,柱泵,爪式泵,涡旋泵和隔膜泵。在现有的无油真空泵中,与其他类型的无油真空泵相比,涡流无油真空泵具有运行稳定,噪音低,节能,重量轻,体积小的特点,并得到了广泛的应用。进行以下科学研究。生产领域:1半导体工业,mdash,薄膜制备设备,半导体器件包装设备,2真空冶金工业mdash,mdash,真空炉,纳米材料制备设备,真空检测设备,3科学仪器工业mdash,mdash,同步辐射光束线,电子显微镜,分析测试设备,4医疗设备 - mdash,mdash,牙科设备,透析机,5生物制品工业mdash,mdash,材料净化,药物制剂,6包装工业mdash,mdash,食品,药品,生物制品和其他包装设备。 3,涡流无油真空泵的工作原理和技术指标与普通油泵的比较涡流无油真空泵的涡旋是一端连接一个平面的一个或几个渐开线螺旋,形成一个涡旋式圆盘。结构体。由固定涡旋和绕动涡旋组成的一对涡旋构成一个用于涡流无油真空的基本泵送机构。例如,在两级涡流无油真空泵中,有两个固定涡旋件对应于一个方向,一个旋转涡旋件位于两个涡旋件之间。移动和静止涡旋的相对运动形成新月形真空室,其体积连续变化,从而从吸入口吸入气体,排出口排气,并完成排气循环。众所周知,与普通油真空泵相比,蜗壳无油真空泵(OilfreescrolIvacuumpump)具有显着的特性。下面是一个普通旋片式真空泵的例子来说明不同之处:表1涡流无油真空泵和普通直接耦合旋片式真空泵技术指标的比较技术指标旋转式油真空泵涡流油 - 自由真空泵抽速(l / s)2.0,4.0,82.0,4.4,8.7极限真空(Pa)0.61.0使用寿命(h)4000040000大修间隔(h)800010000冷却介质油空气噪声(dB)7560质量( kg)7041电机相数31电压(V)220/380220功率(kw)1.10.6 rpm(r / min)14001437 3.涡流无油真空泵的优点及其对用户的问题3.1涡流无油真空泵性能优越的涡旋真空泵主要优点是间隙小,泄漏小,压缩比高,抽速在很宽的力范围内稳定,工作压力范围宽,自体积大压缩室是连续的,驱动扭矩变化不大。 ,小功率变化低振动和噪音,高可靠性。其他类型的干式真空泵不具备此功能。 3.2涡流无油真空泵解决了污染和振动等基本和常见问题。由于普通旋片式油泵的漏油,噪声,回油污染,高能耗和振动,对生物制品和半导体工业等用户产生了不利影响。油蒸气污染和工艺系统回流阀问题。在真空镀膜设备的涂装过程中,在20~40Pa的真空条件下进行涂装时,如果采用普通的旋片式机械真空泵作为前级真空泵,会污染涂装工艺设备,影响成膜量。 。在半导体晶片制造过程中,与使用干泵相比,油泵的使用具有509l的产量,并且排出的油雾蒸汽也污染环境。在科学仪器行业,特别是在分析测试仪器行业中,使用油泵会对测试结果产生不利影响。涡流无油真空泵作为前级真空泵的大型同步加速器梁线的作用也很明显。此外,涡流无油真空泵消除了普通油泵漏油造成的环境污染和故障。 3.3涡流无油真空泵降低了系统制造和运行成本,防止真空泵从普通旋片式油真空泵回油污染。需要添加冷阱以捕获泵系统中的油分子,系统需要在操作期间定期清洁。油,有些需要定期更换真空泵油。涡流无油真空泵首先不需要诸如冷阱的集油机构,第二个不需要更换真空泵油,第三个振动更小,操作更稳定,第四个能耗降低,并且第五重量更轻。在使用油泵限制的六个突破中,上述优点使得涡流无油真空泵成为普通旋转油真空泵的替代产品。 4.结论在以半导体和电子工业为代表的国内制造工艺和科研分析测试行业中,迫切需要一个没有油污的清洁真空环境,但清洁的真空采集设备,如冷凝泵,柱泵,爪式泵,涡旋式旋转泵和隔膜泵尚未形成可靠和先进的批量国产产品。进口涡流无油真空泵是一种新产品,已在中国正式推出不到三年。由于上述价格,m市场发展和用户意识,没有良性循环。这样,一方面,市场需求迫切。另一方面,从价格和技术的角度来看,没有合适的产品,这已经造成了巨大的市场缺口。毫无疑问,价格适中,性能可靠的蜗壳式无油真空泵将成为中国市场所需产品的主流。大力发展旋转式无油真空泵势在必行。涡流等无油真空泵系列产品的开发及其测试技术符合中国市场的要求,也成为中国真空进一步发展的机遇。为了解决中国科学研究和新材料,半导体等行业的基本和共性问题,近年来,业内专家介绍了涡流无油真空泵技术及其发展现状。国内市场。真空泵制造商和代理商在中国市场的发展导致了中国市场的销售增长。国内真空行业相关企业也进行了各种阶段的探索,如基础,应用研究和小型试制涡流无油真空泵生产。但是,由于技术基础,激励机制,研发方法和资金投入限制,研发工作不是很快。 。产品质量,稳定性和可靠性,以及技术推广和市场发展规划,原则和手段也是问题。因此,涡流无油真空泵系列产品的下一步产业化技术研发和市场开发是企业必须解决的两大难题。随着研发方法,资金投入和市场发展问题的解决,涡流无油真空泵将打开市场,从而提高整体真空度,以获得行业的技术水平。成功的涡流无油真空泵系列产品开发和市场开发模式也将为我国其他清洁真空获取设备提供有效的参考,如凝结水泵,样品壁和爪式隔膜泵。