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极高真空,带扩散泵

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-08-30 2:17:25 * 浏览: 146
扩散泵的优点是它对惰性气体具有良好的泵送效果。已经确定,在非常低的压力(至少10-13Pa)下,坩埚的泵送速度保持不变,并且扩散泵对惰性气体有效。因此,尽管扩散泵是油泵,但是许多极高真空系统将其用作主泵。据文献报道,几乎所有低于10-12 Pa的系统都使用扩散泵。然而,由扩散泵的回流引起的油污染限制了其应用。影响扩散泵系统极限压力的另一个因素是氢的压缩比。图16-14显示了扩散泵的入口压力和出口压力曲线。如果泵液是无油的,使用扩散泵是泵送极高真空的理想方法之一。
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