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涡旋真空泵的工作原理,结构和特点

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-08-31 0:07:40 * 浏览: 35
真空泵是使用机械,物理,化学或物理化学方法抽空泵送容器以获得真空的装置或设备。通常,真空泵是使用各种方法来改善,创建和维持封闭空间中的真空的装置。下面的雄机网小编介绍了涡旋真空泵的工作原理,结构和特点。首先,涡旋真空泵的基本特征涡旋真空泵是从涡旋压缩机发展而来的。该机制最初由法国公司Cruex于1905年发明,但当时受到工艺技术的限制。它仅在20世纪80年代左右用于真空技术领域。本实用新型结构简单,零件少,间隙小,泄漏率小,压缩比高,压力范围宽,泵送速度稳定,压缩室内容积连续变化,驱动力矩变化。小型,低功率变化,低振动和噪音,无需冷却水和润滑油,维护简单,可靠性高。由于涡旋式真空泵本身的特点,一般来说,涡旋式真空泵的抽速不超过1000 L / min,抽速大于4 L / s的涡旋泵一般采用双泵侧涡结构,抽速小于4L / s,采用单面涡流结构,极限真空约1 Pa。二,涡旋真空泵的工作原理涡旋的工作原理真空泵涡旋真空泵的工作室由一对线共轭涡旋盘组成。涡旋盘是涡旋形盘形结构,在盘表面上具有一个或几个渐开线螺旋槽。静止涡旋和绕动涡旋交错组装,并且通过防旋转机构确保移动和静止盘之间的180°相位差。由此形成的这对涡旋件构成无油涡旋真空泵。泵送机制。固定涡旋和绕动涡旋在几条直线上(横截面上的几个点)彼此接触,形成几对新月形闭合腔,并且绕动涡旋由曲轴驱动以围绕旋转滚动滚动的中心移动,接触点沿着涡旋表面移动,以实现吸气,压缩和排气。在电动机的驱动下,曲轴的每次旋转形成一组新的月牙闭合腔,从而实现涡旋真空泵的吸入,压缩和排气循环,形成泵送气体的容纳和强制输送。通过动画,我们可以更直观地了解涡旋真空泵转子的运行模式。涡旋式真空泵操作图涡旋式真空泵转子动态操作图三。涡旋式真空泵的结构特点涡旋式真空泵结构简单,主要由5部分组成,1个移动和旋转涡旋盘对和底座,2个曲轴,3个密封件,4个防转机构,5个电机涡旋真空泵结构涡旋真空泵简单结构示意图涡旋真空泵的主要运动部件仅为动涡旋,动力传递简单,运动半径大小相同,结构简单紧凑,运行稳定几乎没有磨损,功耗很小,这在其他类型的干式真空泵中是不可用的。涡旋式真空泵的抽速很小,不适用于有毒,易燃和易爆气体,腐蚀性气体以及药物,溶剂和粉末等介质。因此,目前的涡旋真空泵主要用于分析仪器,半导体芯片生产线,液晶显示器生产线和科研设备。因为它可以直接在大气压下启动,所以它通常作为分子泵和小型低温泵的前级泵。
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