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直接耦合真空泵的工作原理

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-04 1:14:32 * 浏览: 12
直接耦合泵是一种正排量真空泵,其利用转子在汽缸中的高速旋转和叶片在转子槽中的往复运动来改变用于泵送的工作室的容积。泵的主要结构如图3-25所示。直接耦合泵是两级结构。两个阶段之前和之后串联连接。在气体逐步压缩之后,排气阀被推到泵的外部。泵的工作室用泵油密封,以使泵室,压缩室和排气室彼此隔离。另外,泵油用作每个相对移动表面的润滑剂。直接耦合泵配备有气镇阀,用于将一定量的气体混合到压缩室中,降低压缩室中可冷凝蒸汽的压缩比,从而将可疑蒸汽排放到泵外部并且不会凝结成泵油。