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D30型辉光离子氮化炉结构

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-07 0:06:55 * 浏览: 13
图10-121是离子氮化炉的示意图。整个装置由四部分组成:氨供应系统,真空系统,测量系统和供电系统。 1氨供应系统。氨气瓶1含有液氨。工作时,氨气阀2打开,LZB-6型浮子式流量计3通过电压调节来调节。根据真空室所需的氨压力的大小,调节流量计阀4以控制氨的流量。氨气通过氨气管线进入真空室。向氨系统供应空气的压力需要是稳定的,并且进气阀是柔性的。 2真空系统。真空系统包括真空室(辉光室),并且由真空泵21,放气阀18,真空蝶阀19,电磁阀20,排气管等组成。真空室采用双水冷结构。在真空罩和炉底之间用橡胶垫圈密封。在工作时,启动真空泵(类型2X-15)以将真空室泵送到所需的真空,并且排气从排气管排出。 3测量系统。这包括测量温度,测量压力以及测量电流和电压。它们可以反映氮化处理。温度由热电偶16测量,插入阴极底盘,并通过连接导线或热电偶补偿导线连接到XCT-101调节的毫伏表,以测量工件温度。当压力低于1.3×102Pa时,由热耦合器用热电偶测量仪14测量,当压力为1.3×102Pa~1.3×103Pa时,用U形管水银测量仪测量。 4供电系统。电源系统是电源部分。它由三相变压器,整流器,电感器,电容器,振荡和灭弧组成。输入电压为AC 380V,输出为高压直流纹波电流,z *大输出电压为1000V,z *大输出电流为30A。