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典型的油扩散泵系统的残余气体组分

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-18 14:53:35 * 浏览: 10
图16-20显示了系统未烘烤时的质谱,挡板和冷阱未冷冻,全压为2.​​5倍,10-4Pa。该系统的残余气体主要由四部分组成。 1系统表面放气。主要是水,氢,氮和一氧化碳等,主峰分别为m / e = 18,2,28。 2机械泵回流。机械泵回流组分的质谱分析表明,机械泵油(化学式:)的裂解峰族为C. H2村+1,回流的主峰为m / e = 43。图16-20显示存在烃基(CH2)峰族(27,29,41,43,55,57,69,71,83螺旋体),质量差异为14,从质量15开始并指示机械泵送。回流。 3扩散泵回流。目前的扩散泵溶液是三甲基五苯基三硅氧烷(缩写为275硅油),其化学结构为:图16-21中的主峰197,独特的菲基51,52,77,78,甲基峰15和质量碎片峰92, 105,120,152,182,197,259,333等。另外4个。包括密封ldquo,0圈,灰尘和其他污垢,用于有机溶剂的排气和清洁。乙醇和丙酮等峰(分别为46和43的主峰)也清晰可见。表16-8显示了没有弯曲和烘烤的典型油扩散泵系统捕集器的残余气体组成和分压。由于实际质谱中包括的各种成分,主峰和片段峰彼此重叠,并且相同质荷比的峰包含多个成分。同时,组分的离子光谱也与系统条件和分析方法有关。表16-8中的数据仅反映了近似比率。在动态平衡状态下,泵流体的所有返回组分的压力p服从泵的流量方程,因为泵的回流到容器,S是系统到回流的泵送速度(简化计算与主峰泵送速度,已知该系统的氮气抽速约为300 L / s,机械泵和扩散泵在冷阱表面(≯200)的回流速率分别为