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在真空系统中精心设计

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-19 1:00:38 * 浏览: 8
因为泵的电流限制压力不是太低。因此,在非常高的真空系统中,井的设计是非常重要的,并且设计重点在于提高井的捕集效率。捕获效率是分子穿过井表面到达真空室的概率,其中G是井的几何因子,乜是粘附系数,G是由弹性壁撞击气体分子的概率决定的。穿过井。如果井被设计成确保在与井至少一次碰撞后允许所有气体分子通过,那么就有一个类比。 G-通常约为0.01。从等式(16-18)可以看出,为了提高井的捕集效率,我们必须从两个方面入手:1增加气体分子与井壁之间的碰撞次数,并减小几何因子G值。但这使得井的电导更小。只能通过考虑井的电导来减少G,并且2增加粘附系数端口。由于它的关系,效果显着。主要途径是降低疏水阀的温度并使用吸气材料。冷冻钛升华阱是低温吸附阱。如果a = 0.99,则通过等式(16-18)获得的井的通过率是a = 0.999,如果捕集器仅允许两次碰撞通过,则在扩散泵泵系统的操作期间扩散油。分压将低于10-13pa。