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真空计:分离表和短表概述

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-10-16 6:42:00 * 浏览: 7
分离规(图11-56)与约束规的不同之处在于,它收集极细的细金属丝。添加了离子反射器,没有抑制极,环形阴极安装在栅极周围。阴极,屏幕和离子反射器的电压为200V,栅极电压Vg ​​= 305V,发射电流Ie = 2mA,离子收集器通过静电计接地,灵敏度系数K = 0.98A / Pa由X调节。射线效果。下限压力Px约为10 ^ -11 Pa的4倍。该调节的主要特征是电子碰撞解吸效果小。短集电极极规(图11-57)和埋入式集电极极规(图11-58)的结构与分离规相似,性能相似。 1966年,文献[156]估计短收集压力表的px为10 ^ -11Pa,约为6.7倍,预计可测量10 ^ -10Pa的压力。但是1968年的文献[157]报道。该压力表在6.7倍压力下(10 ^ -8Pa)逐渐偏离线性。根据1972年的资料[158],一般的短集电极(包括以上三种)的测量下限约为1Pamdash,5倍,10 ^ -9Pa。