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氦质谱检漏仪的设计

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-10-23 18:28:24 * 浏览: 7
四极质谱仪这些设备仅用作残留气体分析仪或过程气体分析仪和检漏仪。进气系统,用于分析高压下的混合气体(包括泄漏检测)。基于四极质谱仪的气体分析系统可用作多气体泄漏检测器。图7.2中所示的检漏仪的质谱仪单元也只能在低于10-4 hPa的压力下运行。在检漏仪中,压力是由检漏仪的泵系统产生并保持的。这不需要任何操作员干预。带质谱仪的检漏仪的设计如图7.3所示。图7.3:连接到涡轮分子泵(高真空泵)(7)的通用检漏仪质谱仪(质谱仪单元(8))的质量2、3和4(对应于测试气体H2、3He和4He)的流程图法兰。前级泵通过排气门(6)将涡轮分子泵排空。当阀门(3)打开时,通过入口将测试样品(在DIN EN 1330-8中也称为“测试对象”)抽空。 (6)和(3)的连接方式是涡轮分子泵所需的前级真空压力总是比抽空试样好。一旦样品被抽空,就可以通过阀门(4)将其连接到涡轮分子上。泵的前级真空泵或中间级泵,取决于相关的压力范围。现在将测试气体从外部注入样品中,并通过泄漏与周围空气一起渗入样品中。残留气体中的测试气体通过。涡轮分子泵通过阀(3)和(6)以与泵送方向相反的方向流动,流入质谱仪单元并在此处被检测到。出于测试目的,空气和轻质测试气体具有不同的压缩率(10次方的倍数幂)。尽管涡轮分子泵的高压缩比使空气远离质谱仪,但是轻气体以相对较高的分压到达此处。涡轮分子泵充当氦气和氢气的选择性过滤器。这就是为什么即使在压力lt 10hPa(对于某些设备来说稍高)时,质谱仪也可以检测样品中的焓和氢。 10次​​幂的焓分压在1到10-9Pam3s-1之间。高真空泵(4)中的各个中间级泵可以通过以不同的速度操作回流流量来覆盖回流泄漏率,从而成倍地影响压缩比。样品和探针必须处于检漏仪z *高灵敏度阶段的主流。在设备中(通过阀门进气)可以达到10-2hPa的功率范围内的压力。)由于上游是涡轮分子泵,因此质谱仪始终在非常低的总压力下工作,并且受到了很好的保护。被污染和破坏。