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真空装置:小空间模拟设备

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-10-27 16:43:13 * 浏览: 14
图9-17显示了一个小型的两层空间仿真设备的示意图。内部容器可达到10 ^ -10Pa〜10 ^ -12Pa的真空度。真空室由内部容器和外部容器组成。内部容器的主要抽气方法是20K气动筏。排空前的扩散泵,扩散泵和内部容器之间的泵管很长,并且被液氮冻结,因此扩散泵的油分子很难进入内部容器。这确保了内部容器可以得到高真空度。内部容器的外部设置有外部容器,并且吸气装置通过扩散泵串联泵送,并且具有液氮冷阱,其确保了内部容器和外部容器之间的高度真空,并大大减少了内部容器的空间。漏气。外容器用橡胶密封,释放出的气体被外容器的泵抽走而不会进入内容器。