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真空装置:超高真空钽炉

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-02 0:01:46 * 浏览: 13
图9-14是钽炉真空系统的示意图。真空室的直径为500mm。主泵是溅射离子泵-钛升华泵。抽速为4倍和10 ^ 3L / s。真空室的极限真空度为2xl0 ^ -7Pa,工作压力为2倍,10 ^ -5Pa。为了粗抽并处理过程中释放的大量气体,它配备了油扩散泵和机械泵。