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钛钼和钛锆丝蒸发参数的性能概述及吸气性能

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-14 0:02:30 * 浏览: 17
为了建立清洁的真空系统,吸气器真空泵已经得到了很大的发展。在具有吸气特性的各种材料中具有优异性能的吸气剂应具有:①蒸气压低,易于蒸发并形成薄膜;②适合各种气体的抽速,并且产品稳定且蒸气压低,吸气剂材料体积小气体含量高,纯度高,易于制造且价格便宜;④加工性能良好。钛是一种良好的吸气材料。因此,通常使用各种结构的钛升华泵来获得清洁的真空。然而,在使用简单的电阻加热升华装置时,发现使用钛合金作为升华灯丝比卷绕的纯钛升华灯丝具有更好的重复性和更长的寿命,并且仍然具有良好的电气和机械性能。蒸发后。在过去的十年中,对钛钼和钛锆合金丝的蒸发参数和吸杂性能进行了广泛的研究和测量:氧化钛在较低的温度下比纯钛具有更好的吸杂性能,并且对氩气的抽吸速度更大。金属系统中低压下的主要气体成分是氢气。在溅射离子泵中,与单组分吸气剂相比,首选多吸气剂。仔细研究了国产钛钼合金(85%钛,15%钼)丝和钛锆合金(85%钛,15%锆)丝(均由上海钢铁研究所提供)的蒸发参数和吸气性能决心。这些数据已在实验设备中使用了很多年,并证明是相对可靠的。使用给定的公式计算泵和泵的电气参数也符合工程实践。