58棋牌

热线电话:+86-0592-5718001/5718002
Language : 中文版
欢迎来到厦门科睿特仪器有限公司官网!

58棋牌

超高真空设备冷漏实验结果与分析

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-12 0:27:32 * 浏览: 5
在进行反复的冷热冲击试验之前,s *首先对系统进行残留气体分析。图16-48显示了系统残留气体质谱图。从图中可以看出,H2(2)和H20(18)是主要峰,表明系统中可能没有较大的可检测泄漏间隙。然后,使用氦峰校准方法检测液氮囊,液氦囊和所有密封法兰中的泄漏。没有发现可检测的泄漏。这与以上分析是一致的。系统反复烘烤和冷却后,由于材料的膨胀和收缩率不同,通常在强制冷却(注入液氮或液氦)过程中,焊缝容易产生拉型“冷”。泄漏。现象,并且在自然冷却过程中,法兰密封件的连接容易发生分离泄漏,当然,可能会出现拉型“冷泄漏”现象。图16-49是系统在烘烤后自然冷却至室温时的残留气体质谱图。在图中,主要峰为N2(28),H2(2),N +(14),Q(32)等。这与正常烘烤后的一般残留气体质谱图不符(H2是主要峰)。这表明系统可能具有较大的可检测间隙。我们进一步使用以下实验来确定泄漏的性质和位置:将液氮注入液氮的低温泵中,系统的真空度从2.6倍,10-4Pa增至5倍,10-5Pa和可以初步判断出液氮胆正常。将液氮注入液氦囊中,系统真空突然降低至2.6倍,10-3Pa。图16-50是相应的残留气体光谱。从图中可以看出,主峰N2(28),N +(14),0z(32),Ar(40)等是典型的空气质谱图。这表明液氦胆的某种焊接产生了冷漏现象。然后,通过喷雾法将氦气吹入液氦囊中,并且确定泄漏的位置在颈管接头处。图16-51是相应的氦峰质谱图。如何消除这种差距?重新焊接通常更可靠。但是,在这种情况下,焊接缝隙在颈管内部,无法就地修复。如果在切割各层之后对焊缝进行一次修复,则无异于重建泵并承担新的风险。为此,尝试了一种新的方法,即mdash,超高真空泄漏修复胶喷雾堵塞方法。具体方法是:①用专用工具将渗漏修补胶均匀地喷在缝隙上;②加热固化,使渗漏修补胶牢固地附着在毛孔上并具有一定的强度;③重复上述步骤数次。直到满意为止。用此方法堵住后,首先在室温下通过氦峰法对原始泄漏间隙进行泄漏测试,然后通过液氮浸泡法进一步进行泄漏检查,以及相应的残留气体质谱图和氦质谱图泄漏检测图表绘制。没有发现“ ldquo”或“冷漏”现象,表明该方法用于消除“ ldquo”现象,基本成功。发现大法兰的密封连接处有泄漏,残留气体质谱图如图16-52所示。这主要归因于密封垫圈的分离和变形,这是由于法兰和螺钉等接头处的膨胀和收缩率不同所致。采用多次按压法兰的方法,在注入法检漏过程中,通过测量系统真空度并监测氦峰变化光谱(直到氦峰光谱无变化反应),消除了泄漏间隙。在此过程中,总共对法兰进行了五次按压,系统真空度从4倍,10-5Pa增加到6倍,10-6Pa,并且相应的氦峰从大到与背景氦峰一致。到目前为止,认为泄漏间隙已经消除。 z *之后,进行了稳定的冷热冲击试验,进一步测试焊缝和法兰连接的密封性能。在约190°C,110h烘烤和保温后,将系统自然冷却至室温。系统真空度为10×16Pa的2倍。图16-53显示了相应的残留气体质谱图。从图中可以看出,H2(2)是主峰,可以粗略地分析出烘烤过程是正常的。在所有密封件(液氮,液氦,连接法兰,调节密封法兰,充气式密封法兰,超高真空阀等)上进行了氦质谱的进一步泄漏检测,未发现可检测到的泄漏。孔。图16-54是此泄漏检测过程中的连续扫描频谱。然后,将液氮注入液氮胆管中,并将系统真空度提高到10至7Pa的4倍。图16-55显示了相应的残留气体质谱图。 z *之后,将液氦注入液氦囊中,并再次仔细地对所有密封件进行氦峰校准泄漏检测。找不到可检测的泄漏孔。图16-56显示了在将液态氦注入液态氦中后,氦光谱泄漏检测的残留气体质谱图。