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真空系统中的防扩散

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-18 0:37:02 * 浏览: 2
在使用扩散泵的真空系统中,还存在反向扩散的问题。在扩散泵中,不仅在泵送方向上发生空气流动,而且在与蒸气流相反的方向上流动有少量的气体分子,并且从低真空端到高真空端发生扩散。这种现象称为反向扩散。反向扩散的程度与扩散泵的压缩比有关。压缩比越大,反向扩散越小,并且压缩比与气体质量有关。轻气体的压缩比比重气体小得多。对于四级扩散泵,反向扩散的影响对于高真空系统并不重要,但是对于超高真空系统,必须考虑反向扩散对极限真空的限制。如果使用扩散泵获得非常高的真空度,则必须串联连接两个扩散泵。这样,前级扩散泵降低了主扩散泵的出口压力,从而降低了主泵的向后扩散。实验表明,该方法可以提高极限真空度。