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回流氦气乡村检漏仪

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-21 0:28:23 * 浏览: 1
氦质谱仪的一项新发展是出现了回流检漏仪,如图13-33所示。该仪器的优势在于,由于其质谱仪室位于高真空侧,并且测试件连接到前部位置,因此可以在较低真空下检测到测试件并减少了测试件的数量。质谱仪室的污染对仪器的污染。该仪器基于以下原理:油扩散泵的各个喷嘴的喷嘴压力比与气体质量有关。扩散泵各级喷嘴的压力比(即压缩比)可以表示为:从上式可知,气体量越小,压力比越小。多级扩散泵的压力比可以达到:氦气为102,空气中其他气体成分为10 ^ 4〜10 ^ 6。当质谱仪管连接到泵的总管上,而试件连接到泵的前级管上时,氦气通过泄漏进入前级管后,一些氦气仍然流回质谱仪管中并给出泄漏信号。该检漏仪的灵敏度估计达到10 ^ -5Pa.L / s〜10 ^ -8Pamiddot,L / s。