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溅射离子泵的类型和基本参数

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-22 0:27:30 * 浏览: 2
本标准规定了溅射离子泵的常见类型和基本参数。适用于两电位两极和三极溅射离子泵。本标准所用术语应符合GB3163的规定。使用的符号和代码应符合JB / T7673-95。 (1)类型①本标准将两电位普通溅射离子泵分为两极泵和三极泵。两极泵的泵浦单元由一个阳极圆柱体和一个阴极板组成。阳极连接到数千伏的正电位,阴极与泵体一起接地。三极泵的泵浦单元由阳极,阴极和集电极组成。阳极和集电极与泵体一起接地,阴极连接到数千伏的负电位。 ②型号指定方法必须符合JB / T7673-95真空泵型号编制方法。 (2)基本参数①二极管溅射离子泵的基本参数应符合表5-7的要求。 ②三极溅射离子泵的基本参数应符合表5-8的要求。