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超高真空系统的萃取技术

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-03 0:25:40 * 浏览: 0
超高真空系统中使用的主要泵是油扩散泵,溅射离子泵,钛泵(蒸发或升华钛泵),涡轮分子泵,低温泵等。近年来,锆铝吸气泵和其他泵联合抽气获得超高真空。对于超高真空系统中使用的真空泵的要求,除了通常的泵选择原则外,还有:①主泵的极限真空比工作真空高一个到一个半个数量级。真空装置的最大真空度,例如1倍10 ^ -6Pa,则泵的极限真空度在真空装置的工作真空范围内至少为1倍10 ^ -7Pa,② ③清除真空腔室排气中的主泵或主泵入口,以除去设备中的气体。气体端口的管道,冷阱,挡板和阀门可以承受250度,Cmdash,450度和C烘烤。时④当主泵选择性地泵送所泵送的气体时,应配备辅助泵和联合泵。⑤真空泵中使用的钢应为不锈钢。