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电离计的抽气效果:电清抽气

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-20 2:19:46 * 浏览: 3
电子与气体分子碰撞并使它们离子化以产生离子。当具有一定能量(约100 eV)的离子撞击到规壁或收集器上时,这些离子结合在固体表面上或埋在要去除的表面下,并且由z *结合的分子必须在300°C下烘烤。再次释放。如果调节器的内壁上有溅镀的金属膜,则对氦气也有一定的泵送作用。电吹扫气体提取率SE的大小与电子流量,每个极的电势,磁场的存在以及量规壁的温度有关。如果电子流量增加,则离子流量也线性增加,因此电吹扫泵率SE与电子流量大致呈线性关系。栅极电势的变化将改变电离几率和离子能量,因此电吹扫泵率SE也将发生变化(图11-76)。在冷磁控制仪中,由于存在磁场,电离效率较高,因此在冷磁控制仪中电清除效果也较大。温度电离仪壁的温度和电势较大影响电气间隙的抽速。当表壁温度降低时,电清除的泵送速度增加,结合分子的再释放速率降低。当标距壁处于栅极电势时,泵浦速度是标距壁处于阴极电势时的抽速的1/5。降低为了减小电清除效应,必须减小电子电流和栅极灯丝发出的电压。例如,在BA压力计中,Ie = 10mA,Se = 0.03L / s,Ie = 100mu,A,Se = 3 * 10 ^ -4L /S。收集当集电器和调节壁结合到单个分子层时,清除效果逐渐减弱。电离规对脱氮有很大影响。这是因为,除了上述的电离去除效果以外,电子还与氮分子碰撞而使氮成为激发态而成为活性分子(或原子),从而产生化学去除效果。