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常用的真空排气法(2)-真空加热排气法

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-03-15 0:23:01 * 浏览: 0
抽空加热排气过程这是扩散泵系统中通常使用的排气方法,用于获得超高真空。它不同于简单的排气过程,因为在抽至低真空或高真空时,容器会被加热并脱气。低温容器的加热方法可分为内部加热和外部加热以及内部和外部加热。其中,在低真空下的整体加热和抽气效果更好。排气当低温容器采用此工艺进行排气时,排气过程所需的泵送时间缩短了几个数量级,并且吸附剂被活化。更好。因此,自多层绝缘问世以来,它已被广泛使用,并且直到1970年代初才被广泛使用。原因该过程产生更好效果的原因是温度的影响:①升高温度之后可以缩短分子在表面上的吸附时间,可以增加气体在材料内部的扩散系数,可以大大加快隔热材料和吸附剂的除气过程。 ②提高温度,除了增加扩散系数外,由于绝缘层中材料的放气速度更快,该层与该层和空间之间的压力差也增大,从而增加了绝缘层的渗透性,增加“ ldquo”,并渗透抽水。气量。 ③当空间气体分子的温度升高时,分子运动速度增加,通过绝热层狭窄的排气通道和排气喷嘴的能力增加,这使绝热层的电导率略有增加。存在该过程的问题是:①在提取过程中进行加热。由于容器的绝热性能,加热非常困难,这使得绝热材料和吸附剂长时间升高到允许的z *温度,并且温度分布不均匀,从而限制了效果温度的影响。 ②未能解决上述难以提取水蒸气的问题。 ③抽吸时间长。 ④吸附剂很难再活化。 ⑤存在油蒸气回流的影响。